摘要：基于经过绝缘化处理的支承电极,提出了压控型四轴静电悬浮支承系统的技术方案。首先给出了支承系统的位移测量电路,介绍了在极限工作条件下可以将执行器件功耗降低70%以上的低功耗的高压放大器。推导了电极绝缘条件下的静电力模型,并引入加权系数来表征电极覆盖绝缘膜对静电悬浮力的影响。根据建立的静电力模型设计了控制器并进行了悬浮实验。实验结果表明,支承系统实现了转子的稳定悬浮,说明在合理量化电极绝缘对测量系统和静电力模型的影响条件下,电极绝缘的静电悬浮支承系统可以实现正常工作。

摘要：为了提高静电支承系统的可靠性,对设计的压控型四轴斜交静电支承系统的电极进行了绝缘化处理,但是电极的绝缘处理影响了支承系统的位移测量。针对这一问题,分析了四轴位移测量的原理并给出了保证转子测量地电位的方法,研究了电极绝缘对间隙电容以及位移测量的影响,通过引入增强因子量化了这一影响并对绝缘条件下的位移测量重新建模。测量实验表明设计的位移测量电路的测量精度优于0.2μm,在电极绝缘的条件下可以实现对转子位移的测量。