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MEMS压阻式加速度传感器的优化设计
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《压电与声光》2012年 第6期34卷 848-852页
作者：杜春晖 何常德 葛晓洋 于佳琪 熊继军 张文栋中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学测试技术重点实验室山西太原030051 
提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器,该传感器采用"四悬臂梁-质量块"结构,16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区,既提高了传感器的灵敏度,又降低了轴间耦合度和非线性度。通过与八悬臂梁结构的仿真对比,...
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