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恒温式微热板电阻真空传感器
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《光学精密工程》2008年 第7期16卷 1253-1257页
作者：张凤田 唐祯安 余隽 汪家奇中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 大连理工大学电子工程系辽宁大连116024 
研究了微热板的传热特性，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空传感器，支撑桥长65μm、宽21μm，微热板与衬底之间的气隙...
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