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检索条件"主题词=直流稳态分析"
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基于力学描述的MEMS器件行为模拟方法
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《电子器件》2006年 第4期29卷 1182-1186页
作者：张健 李伟华 聂萌东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 
将MEMS悬臂梁在静电驱动下的受力过程映射为悬臂梁自由端(即其纵向最大位移点)的力学描述,从而实现对悬臂梁的直流稳态分析。其基本原理是基于结构的受力分析,以位移为共同变量,引入反馈机制描述耦合过程。首先引入一个合适的挠度形函数...
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