摘要：在超精密机械中，摩擦副（特别是点、线接触的摩擦副）常处于几个到几十纳米厚的薄膜润滑状态。由于测试技术上的困难，这种状态的润滑机理尚未得到充分的认识。本支介绍了根据光干涉法测膜的基本原理提出的相对光强原理，并经特定光路设计研制的ＮＧＹ－２型的纳米级润滑膜厚度测量仪。该测量仪具有膜厚测量分辨率及精度高和抗外界光场变化能力强等优点。

摘要：针对传统的通过转速与光刻胶膜厚的关系来大致判断膜厚范围的问题,研究了基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法。基于光刻胶的基本特性,将油膜的膜厚测量方法应用在光刻胶上。基于薄膜干涉原理进行系统的光路设计以及光刻胶膜厚测量平台的设计。进行了干涉条纹自动计数算法的研究以及基于单色光干涉的相对光强原理的研究。最后搭建硬件系统和软件系统,对干涉条纹自动计数算法与单色光干涉的膜厚测量方法进行实验验证与分析,实现了光刻胶膜厚的快速精确测量。