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单晶炉真空炉室的设计
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《电子工业专用设备》2000年 第4期29卷 39-41页
作者：李留臣西安理工大学晶体生长设备研究所陕西西安710048 
真空炉室是单晶炉的主要部件之一 ,硅单晶的生长工艺过程都是在真空炉室内进行的。着重介绍单晶炉真空炉室的结构设计及其制造工艺。
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