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作者

  • 1篇杨浩
  • 1篇张为群
  • 1篇王文明
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检索条件"主题词=真空系统流导离子泵氢脉泽"
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真空主动型脉泽真空系统设计
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真空科学与技术学报》2012年 第3期32卷 252-255页
作者:王文明 张燕军 杨浩 张为群中国科学院上海天文台上海200030 中国科学院研究生院北京100039 
清洁、抽速稳定的高真空系统脉泽工作必不可少的组成部分之一。文章详细介绍了双真空主动型脉泽真空系统的组成及各个组成部分的设计思路、方法。内容涉及真空的获得、真空的选择、脉泽物理部分双真空系统设计、及抽速的...
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