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检索条件"主题词=短相干光相移干涉"
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一种便携式光学表面轮廓仪
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《光学仪器》2016年 第2期38卷 178-184页
作者：张瑜 陈宇琪 陈磊南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京210094 金智视讯技术有限公司江苏南京211100 
研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用...
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