摘要：磁力研磨是利用磁性磨料和磁场作用进行研磨加工的一种研抛技术.讨论了不同研磨头形状对磁力研磨的影响以及研磨头设计的要点.在五自由度并联机床上利用不同形状磨头对自由曲面的模具进行了磁力研磨试验.开槽研磨头比不开槽研磨头的研磨效果要好得多.实验分析了利用球型磨头对工件磁力研磨时,磁场强度、研磨间隙、研磨时间等因素对自由曲面模具表面研磨质量的影响.利用五自由度并联机床不仅可以去除自由曲面模具表面的切削残留痕迹,降低模具的表面粗糙度,还可解决传统手工研磨方式所引起的工件研磨质量不一致的缺陷.

摘要：采用磁力研磨技术进行Al_2O_3-TiO_2陶瓷涂层的精密加工,设计了平面陶瓷研磨的试验装置,通过研究磨粒粒度等参数对表面粗糙度的影响规律,得出精密加工的最优参数。

摘要：随着半导体技术的不断发展,集成电路的互连线尺寸不断减小,Cu-CMP已经成为深亚微米工艺中的重要技术。分析了由于研磨头固定环上的沟槽堵塞而造成的Cu-CMP后Cu金属坑状缺陷的产生机理,使用应用材料公司生产的Mirra Mesa Intergrated CMP System工艺设备,利用该设备上的研磨头喷头和芯片吸附装置上的平台冲洗部件,对采用双大马士革Cu工艺的图形化200mm实验芯片在Cu-CMP后设计了不同条件下高压力的去离子水冲洗芯片固定环的实验,给出一种优化了的研磨头清洗方案,从而减少了Cu-CMP后Cu金属坑状缺陷的产生。

摘要：液压缸内孔加工工艺为：粗车、半精车、精车、磨等工序组成。传统工艺已不能满足要求。为此，在精车时，将内孔精车达到内孔的下公差；将车磨改为研磨的加工工艺。新工艺的关键是研磨头的设计及其辅助工具，经多台套液压缸的加工证明，本方法成效良好，图6。