摘要：砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、GaAs、GaAsP生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。

摘要：以砷化锌为原料制备砷烷(AsH_(3))是制备砷烷的一种重要途径,高纯度AsH_(3)作为一种常用的电子特气在半导体集成电路中发挥着重要的作用,并广泛应用于太阳能电池和其他有机砷化物的合成,具有一定研究基础和重要的工业价值。在过去的几十年里,在AsH_(3)的纯化上取得了重大进展。文章对砷烷纯化进行了简要的总结,包括提纯原料、设备设计和产品提纯,同时对AsH_(3)纯化的发展前景做出了展望。

摘要：砷烷是重要的电子特气之一,是半导体工业中不可缺少的基础材料。由于其本身的剧毒性、合成纯度要求高,净化难度大等因素,在国内的安全大背景下,很少有企业愿意冒风险开展此类工作。在此,列举了关于砷烷制备、提纯等一系列工艺的进展。

摘要：特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）硅烷别名甲硅烷；四氢化硅英文名称Ｓｉｌａｎｅ；Ｍｏｎｏｓｉｌａｎｅ；Ｓｉｌｉｃｏｎｔｅｔｒａｈｙｄｒｉｄｅ分子式ＳｉＨ４１物化性质硅烷是一种无色...

摘要：砷烷是电子气体中用途十分广泛,技术难度非常大的烷类气体,它是一个国家电子气先进与否的重要标志。超纯砷烷的产业化技术,涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多专业,为发展我国IC产业,尽快开展超纯砷烷产业化技术研究意义重大。

摘要：应用气相色谱法(氦离子化检测器)同步测定丙烯中砷烷、磷烷及MAP(不饱和轻烃)组分。探讨了色谱柱筛选、阀柱系统设计、柱箱温度、载气流速等仪器参数条件设置,用标准气体进行方法验证,各组分检出限≤0.1 ppmV,相对误差在-2.0%~2.0%之间,相对标准偏差小于1.5%,生产应用效果好。

摘要：对当下中国气体的市场、技术进行了详细的介绍,指出中国气体未来发展的方向。

摘要：回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。

摘要：分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法。

摘要：回顾2015年中国气体的现状,对未来中国气体进行了预测。提出了我国标准气体属地化生产与经营的想法,对于我国各类主要电子气体同发达国家的差距做了详细的分析。