摘要：为了满足对中等精度的微机械加速度计的需求，讨论了一种硅片溶解法制造的平面叉指式加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。为了分析该种加速度计的分辨率和固有频率，分析了其机械模型和数值解，并且用有限元方法对几种设计尺寸进行了仿真。着重研究了几个关键尺寸，如检测质量厚度和梁的宽度的改变对分辨率和固有频率的影响，并且给出了此种结构在当前条件下的所能得到的测量分辨率极限。最后，给出了两种尺寸的设计，其大小约为１．５ｍｍ×１．５ｍｍ，检测质量厚１０μｍ和１５μｍ，相对于当地重力加速度，分辨率分别为５×１０－３和３×１０－３。

摘要：考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计(MSRA)的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针对结构热膨胀导致的应力进行了建模仿真,并根据仿真结果优化设计了一种低热应力的双端固支梁的结构来降低热膨胀系数不匹配带来的频率漂移。实验测得新结构的单梁谐振频率的温度系数从典型结构的约30Hz/℃降为-1.5Hz/℃,与仿真结果-1.14Hz/℃基本一致。为了进一步提高该加速度计的零偏稳定性,设计了一种高精度测温电路用来补偿温漂,该电路测温灵敏度为96.25mV/℃,测量噪声约为0.000 2℃。实验结果表明,采用优化后的结构结合线性温度补偿的方法,可使该硅微谐振加速度计的1h零偏稳定性在常温下达到10μg以下,比改进前实验室获得的52μg水平提升了80%,满足了高精度加速度测量的要求。

摘要：静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析。采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大气环境下测试了静电加速度计的性能。电测法测试结果表明静电加速度计的轴向量程4.22 g,噪声谱密度0.19 mg/Hz1/2;径向量程4.63 g,噪声谱密度0.44 mg/Hz1/2。

摘要：针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计。在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧道效应。

摘要：介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。

摘要：本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案.介绍了该方案的基本工作原理,建立了相应的闭环系统数学模型,并在s域设计了系统校正环节.文章还提出了数字校正环节的设计方法,并分析了其对系统动态特性的影响.该方案可以实现硅微加速度计的数字闭环控制,并可以实现加速度计的PWM数字信号输出.

摘要：介绍一种悬臂梁式硅微加速度计的结构与工作原理,并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。采用体硅“无掩膜”腐蚀技术,对设计出的敏感芯片进行了工艺试制。通过合理的设计,使挠性梁腐蚀区域侧面上产生(311)面,通过控制所产生的(311)面对(111)面的侵削作用,获得了所需结构。为提高灵敏度和线性,该加速度计采用静电力反馈闭环控制方式,检测与处理电路采用高精度双极线性电路工艺进行了工艺流片。利用多芯片组装工艺进行了敏感芯片与一次集成的检测和处理电路的混合封装。经测试硅微加速度计性能为量程±50g,分辨率3×10–3g,非线性<5×10–4,质量为9.6g。

摘要：给出了硅微加速度计基于虚拟现实技术的实现步骤 ,并在基于微机实验平台上创建了其虚拟环境 ,通过拟实运行验证了将虚拟现实技术应用于硅微加速度计设计中的可行性及实现步骤的正确性 。

摘要：典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成，其基本结构图和工作原理框图如图1所示；图2显示的是北京大学微电子研究院微米纳米加工国家重点实验室使用MEMS标准工艺加工出来的基于电子隧道穿通的加速度计以及封装形式。

摘要：本文研究了一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路.与多数处理电路不同的是,本文以精密仪表运放为核心,设计了一种低温漂,高放大倍数的纳安级电流放大和反馈电路,该电路包括A/V转换、差分放大、信号滤波、电压跟随、电压反馈五部分组成,电路采用了尽量少的分立元件.分析了隧道电流与反馈控制电压及隧道电极问距离的关系.实验证明,该电路不但能榆测并放大纳安级的电流,而且能为隧道式硅微加速度计提供适当的反馈电压,其温漂系数小,体积小,可用作隧道式硅微加速度计隧道电流的处理电路.