摘要：硅晶片广泛应用于集成电路领域,对其表面质量和平整度提出了极高的要求。化学机械抛光(CMP)可对硅晶片表面实现局部和整体平坦化精细加工,抛光液是影响抛光质量和抛光效率的关键因素之一。本文归纳了抛光液中磨料、pH值调节剂、氧化剂、分散剂和表面活性剂等组成部分的作用及其研究进展,目的在于为硅片CMP抛光液的设计、制备和合理选用提供参考依据。

摘要：双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想的超光滑表面。设计了硅片双面抛光加工工艺新路线,并在新研制的双面抛光机上对硅晶片进行抛光加工,实验研究了不同加工参数对桂晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。采用扫描探针显微镜和激光数字波面干涉仪分别对加工后的硅晶片进行测量,实验结果表明:在优化实验条件下硅晶片可以获得表面粗糙度0.533nm的超光滑表面。

摘要：引言人们对于更小、更快、更便宜且功能不断完善的产品的不断需求促使21世纪正在变成一个'数字设计时代'.然而,设计这些产品的公司正面临着巨大的挑战,它们需要从RTL的设计逐步转向精密硅片.激烈的市场竞争要求它们必须在2～3个月的时间内完成这种转变.简单地说,当企业面临对设备进行功能描述、物理放置、路由或者其实现时,一种危机正在出现.

摘要：双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想的超光滑表面。本文设计了新的硅片双面抛光加工工艺路线,并在新研制的双面抛光机上对硅晶片进行抛光加工,通过试验,研究了不同加工参数对硅晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。采用扫描探针显微镜和激光数字波面干涉仪分别对加工后的硅晶片进行测量,试验结果表明:在优化试验条件下硅晶片可以获得表面粗糙度0.533nm的超光滑表面。

摘要：针对目前硅晶片瑕疵具有大小差异较大,与背景相似性高,存在大量细小瑕疵,检测算法具有较高复杂度的特点,结合当前先进的目标检测技术与嵌入式技术,提出了基于嵌入式的硅晶片瑕疵检测方法。利用现在流行的YOLOv3算法,通过改进网络结构,并融合了数据扩增等方法训练目标检测网络,使得算法更适合于硅晶片的瑕疵检测任务,并采用模块化设计在Linux嵌入式系统下实现了图像采集、处理、存储与输出。实验表明,在较小的样本下,该方法实现了对硅晶片瑕疵的快速、准确的检测。

摘要：据报道，剑桥大学的科学家们投入1．2亿英镑、花费10年时间研制的电子纸智能塑料有望于数月内面市。它的屏幕面积和A4复印纸一样，而且可以卷曲，其独特之处在于，在屏幕制作中以价格便宜的塑料晶片取代了硅晶片。该电子纸为触屏式设计，仅在画面运动时耗电，两个星期才需充电一次。

摘要：简要介绍硅晶片的生产工艺流程、空调净化系统和自控系统的设计方案。

摘要：ST首席执行官Pasquale Pistorio在接受采访时声称,公司将中国视为半导体市场的重要合作伙伴,可能于2005年前将它的下一个硅晶片厂建在中国。该公司早已经在深圳建立了一家合资封装厂,在上海建立了一个设计中心,今后几年将会加倍增强在中国的生产能力。他说:"我们在上海有一家研究中心,下一步准备建设一家代工厂,我们下一个的硅晶片厂将在中国建设。"

摘要：In this paper, we present a terahertz (THz) band-stop filter realized by fabricating a metallic T-shaped resonator pattern on the high-resistivity silicon wafer. The filter exhibits two typical band-stop response characteristics depending on the incident direction of electric field with respect to the T-shaped resonator. When the long and the short arms of the T-shaped resonator were electrically polarized by changing the incident THz wave transmission directions, the corresponding central frequencies of the band-stop filter were found to be 0.436 THz at 42dB and 0.610 THz at 28 dB, respectively. Using three-dimensional (3D) finite-integral time-domain simulations, the band-stop filter was designed, which can operate in the wavelength between 0.2 and 0.8 THz. Experimental verification was also performed using a free space THz time-domain spectroscopy system. The band-stop response characteristics are in good agreement with the simulation results. The interesting THz band-stop filtering properties suggest a promising application in the modern THz communication systems, THz time-domain spectroscopic imaging and THz continuous wave imaging.

摘要：早在20世纪80年代,并行信息处理技术先驱吉恩·姆达尔(Gene Amdahl)就提出了一个提升大型机计算速度的计划:制造一种硅晶片大小的处理器。通过将大部分数据移动保留在处理器内部进行,计算速度可以更快,并且更节能。