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检索条件"主题词=硅片甩干机"
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硅片甩干机之旋转架设计中受迫振动问题
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《四川有色金属》2000年 第3期 37-40,46页
作者：刘勇峨眉半导体材料厂所峨眉山市614200 
本文论述了由不平衡离心惯性力引起甩干机旋转架受迫振动，并提出了设计中如何采取相应解决措施。
来源：详细信息评论
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