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检索条件"主题词=硅膜片"

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硅微压传感元件的设计分析及关键技术: 收藏
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引用; 《仪表技术与传感器》1995年第1期 35-37页; 作者：张九惠辽宁大学电子系沈阳市110036; 本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题,提出采用化学腐蚀技术,选择性腐蚀工艺控制膜厚。用E型杯代替C型杯的设计,改善非线性误差获得成功。研制出量程≤10kPa,精度优于0.5％的微压...; 本文介绍了圆形膜片E型杯硅微压传感元件的设计原理。并针对硅微压传感元件研制中存在的问题,提出采用化学腐蚀技术,选择性腐蚀工艺控制膜厚。用E型杯代替C型杯的设计,改善非线性误差获得成功。研制出量程≤10kPa,精度优于0.5％的微压元件。; 来源：详细信息评论

单晶硅微压传感器的研制: 收藏
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引用; 《航空学报》1979年第4期9卷 104-112页; 风洞测压及实现自动检测、自动控制,急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高,适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标,着重讨...; 风洞测压及实现自动检测、自动控制,急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高,适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标,着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。; 来源：详细信息评论

硅集成压力传感器设计: 收藏
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引用; 《湘潭师范学院学报（自然科学版）》2002年第3期24卷 64-66页; 作者：贺水燕彭万里湘潭师范学院物理系湖南湘潭411201 湘潭大学物理系湖南湘潭411105; 主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨。; 主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨。; 来源：详细信息评论

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