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检索条件"主题词=磁控溅射法"
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磁控溅射法薄木镀膜金属工艺参数的遴选
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《东北林业大学学报》2016年 第6期44卷 75-78页
作者:常德龙 谢青 胡伟华 黄文豪 张云岭国家林业局泡桐研究开发中心郑州45003 
为获得高品质抗电磁辐射木材,采用正交试验设计L_(27)(3^(13)),真空磁控溅射镀膜,试验分析了封闭剂、真空度、镀膜温度、镀膜时间及交互作用等因素对镀膜质量的影响。结果表明:桐木单板应用MF3封闭剂(固体质量分数为50%的三聚氰胺甲醛...
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磁控溅射法制备多晶BiFeO_3薄膜
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《科技创新与应用》2018年 第1期8卷 40-41页
作者:杨强 陈蕊 王翼鑫 王丽丽长春大学吉林长春130022 
通过磁控溅射法在单晶Si(100)基片上生长了不同厚度的BiFeO_3多晶薄膜,对样品的结构、形貌、磁性进行研究。结果表明,通过改变溅射时间,影响薄膜微观结构。样品薄膜具有平整的表面。室温下,样品呈现反铁磁有序。
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TiW/Ni/Au爆炸箔制备及性能研究
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《兵工学报》2023年 第12期44卷 3826-3835页
作者:李思宇 董晓芬 王云鹏 李帅 王端 王庆华中北大学环境与安全工程学院山西太原030051 山西经贸职业学院机电工程系山西太原030024 太原工业学院机械工程系山西太原030013 驻长治地区军代室山西长治046013 
爆炸箔起爆器因其高可靠性、高安全性而在各类战术武器中备受青睐,但其起爆需要较高的输入能量和电压,需配备专门的起爆线路,导致成本高、体积大,在常规武器中应用受限。为顺应爆炸箔起爆器低能化、小型化的发展趋势,获得充电电压在1.5...
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复合纳米光学变色薄膜
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《光学学报》2004年 第4期24卷 433-436页
作者:倪星元 吕俊霞 魏建东 吴广明 周斌 沈军 王珏同济大学波耳固体物理研究所上海200092 
用热蒸发和磁控溅射的物理镀膜方法和溶胶凝胶化学涂布的方法相结合制备了有机和无机复合纳米光学变色薄膜。光学变色薄膜为多层薄膜 ,当有自然光进入光学变色薄膜时 ,随着入射光和视角的变化在薄膜上可以看到明显的光变色效果。这种薄...
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激光防护中VO_2薄膜的最佳膜厚计算
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《激光与红外》2015年 第8期45卷 959-963页
作者:徐凯 路远 凌永顺 乔亚 唐聪电子工程学院安徽合肥230037 红外与低温等离子体安徽省重点实验室安徽合肥230037 
为实现 VO2薄膜在激光防护应用中的最佳膜厚设计,采用椭圆偏振法测试分别得到 Si基底 VO2薄膜低温半导体态与高温金属态的光学常数,基于具有吸收特性薄膜的透射率计算理论,结合 VO2薄膜用于激光防护的需求,计算得到适用于激光防护...
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MgO缓冲层对Si衬底上制备Fe_3Si薄膜性能的影响
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《半导体技术》2017年 第12期42卷 933-937,950页
作者:张翀 谢晶 谢泉贵州大学大数据与信息工程学院新型光电子材料与技术研究所贵阳550025 
采用磁控溅射方法和热加工工艺在n型Si衬底上溅射不同厚度的MgO层并制备Fe-Si薄膜层,退火后形成Fe_3Si/MgO/Si多层膜结构。利用MgO缓冲层对退火时Si衬底扩散原子进行屏蔽,并分析MgO层对Fe_3Si薄膜结构和电学性质的影响。通过X射线衍射仪...
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薄膜光学 薄膜材料与器件
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《中国光学》2005年 第3期 60-61页
O484.1 2005032053 甩迭代Chebyshev方法设计密集型波分复用窄带滤光片= Design of DWDM narrow band filters with iterative Cheby- shev method[刊,中]/王懿喆(中科院上海技物所.上海 (200083)),张凤出∥红外与毫米波学报.-2004,...
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可编程序控制器在真空镀膜机上的应用
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《沈阳大学学报》2001年 第2期13卷 64-66,71页
作者:刘雁 孙金洲沈阳大学建筑工程学院辽宁沈阳110044 沈阳电视台辽宁沈阳110032 
文中介绍采用可编程序控制器改进单机单片磁控溅射真空镀膜机的设计和运行情况。本系统可以连续工作,每次可镀三十片玻璃,并可镀复合膜多达三层,比以前单机单片镀膜工艺显著提高了工作效率,降低了成本,改善了产品质量。
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