摘要：针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150μm(圆形)和150μm×150μm(方形),电极引线线宽为30μm。无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性。微电极加工质量较好,电学性能优良,实现了微电极和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础。

摘要：为了减小神经电极的宽度,提高电极在光照下的抗噪声干扰能力,提出了一种基于0.18μm CMOS工艺的抗光噪声神经微电极。采用CMOS的多层布线代替传统电极导线的单层排布,并将电极衬底接地以有效减小光噪声。阐述了基于CMOS工艺的神经电极结构设计、制备过程与结构表征,并对所制备的神经电极进行了电化学阻抗测试和光噪声测试。该神经电极宽度仅为70μm,实验证明:1kHz频率下电极的阻抗一致性好,且在1mW/mm2的光遗传常用光辐照下,该电极的噪声电压仅为0.07~0.08mV,远低于传统硅电极12~13mV的噪声幅值。结果表明,基于CMOS工艺的神经电极抗光噪声能力远优于传统硅电极,对硅基微电极在光遗传中的应用具有重要意义。

摘要：柔性微电极为电子系统与生物组织间提供一个信息交换界面。主要详述了不同设计的神经微电极,比如筛状电极、卡夫电极、螺旋电极及剑状和针形电极等,并且比较和讨论了它们的分类、结构以及特点。

摘要：神经微传感器是脑—机接口系统中的关键器件,通过对神经组织多个区域进行生物电信号记录和施加电刺激,探索神经系统顽疾的治疗方法。建立了神经微传感器与神经组织相互作用的电路模型;从生理、物理、工程等角度出发,设计了微传感器的机械结构,并确定了探针臂的几何参数;将两片二维电极插接在支撑基板上,并安装隔板加以固定,从而组装成三维结构,能在创伤度最小的情况下实现稳定、可靠的三维测点定位。单通道动作电位检测实验证明:此神经微传感器具有良好的神经信号提取能力。