摘要：利用超高真空脉冲直流磁控溅射技术制备了纳米量级厚度的CNx薄膜。利用自行设计的一种简单的探针测定了薄膜合成中的等离子体参数,获得了等离子体参数与合成工艺参数的关系。结果表明:在300 W的靶功率和-100 V的偏压下,等离子体的电子温度和电子数密度均最高,分别达到4.62 eV、6.8×1015/m3和3.25 eV、1.9×1015/m3。原子力显微镜观察表明,在此合成工艺参数下制备的CNx薄膜表面显示了最低的粗糙度均方根。

摘要：大气压等离子体射流(APPJ)能产生富含活性粒子的等离子体羽,在众多领域具有广泛的应用前景.从应用角度考虑,如何产生大尺度弥散等离子体羽是APPJ研究的热点之一.目前,利用惰性气体APPJ已经能产生令人满意的大尺度等离子体羽,但从经济性上考虑,如何产生大尺度空气等离子体羽更具有应用价值.针对于此,本工作设计了一个具有辅助放电的APPJ,产生了大尺度刷形空气等离子体羽.结果表明,刷状空气等离子体羽可以在一定电压峰值(Vp)内产生,并且随着Vp增大等离子体羽的长度和发光强度都增大.电压和发光信号波形表明,每半个电压周期最多会有一次放电.每半个电压周期的放电概率和光脉冲的强度都随着Vp增大而增大,但放电起始时刻的电压值会随着Vp增大而降低.高速影像研究表明弥散刷形空气等离子体羽和小尺度空气等离子体羽的产生机制类似,均源于分叉正流光的时间叠加.此外,采集了刷形空气等离子体羽的发射光谱,并利用其对放电的电子温度、电子密度、分子振动温度和气体温度进行了研究.结果表明,等离子体羽的气体温度较低,且基本不随Vp变化.然而电子密度、电子温度和分子振动温度均随着Vp增大而升高.利用激光诱导荧光光谱技术研究了等离子体羽的OH浓度,发现OH分布较为均匀,且其浓度随着Vp增大而增大.最后,对这些变化规律进行定性分析.

摘要：微波透射衰减数据是研究等离子体与微波相互作用时的重要实验数据,本文针对柱状等离子体,分析了准确测量其微波透射衰减所应满足的三个条件:等离子体等厚、入射波远场、等离子体反射可忽略;并设计了满足上述条件的测量实验。除直接用于分析等离子体参数对微波传输的影响外,本文提出了该数据的另外两种用途:诊断等离子体参数、判定等离子体稳定性。

摘要：用FlashMX制作了静电探针法诊断等离子体参数的远程仿真实验,设计了能独立操作并相互关联的实验仪器,提供了接近真实的操作界面,实现了等离子体有极放电、单探针诊断和双探针诊断的实验仿真.

摘要：推进器羽流的电磁矢量控制是基于电磁位形的改变使得喷射的羽流改变方向。为了原理性验证电推进羽流电磁矢量控制技术,针对螺旋波电推进器,开展了磁场位形调制仿真设计和试验验证。说明了电磁矢量调制线圈能够改变磁场位型,并且在试验过程中验证了等离子体羽流随磁场位型变化而产生的羽流方向偏转。在周期性磁场调制过程中,验证了等离子体密度参数随之周期性涨落。螺旋波电推进羽流方向最大偏转角度60°,可控偏转频率15 Hz,说明了电推进羽流电磁矢量控制的可行性。

摘要：依据微空心阴极自持的辉光放电结构,设计了一款新颖的微小放电结构。用空气进行了有关的放电实验,稳定的直流辉光放电,放电气压最大能够达到66．7 kPa．放电的伏安特性具有正的斜坡,放电能够稳定地运行,而不需要个体镇流电阻。在气压为40 kPa和放电电流为60 mA时,放电等离子体中的电流密度估计为0．048 A／cm2,功率密度估计为52．8 W／cm3,电子密度估计为2．7×1013cm-3。实验结果表明:这种高气压、大体积、高电子密度的放电等离子体能够用作小型激光器的工作介质。

摘要：设计了一套朗缪尔探针诊断系统用于射频负离子源中等离子体参数的诊断。在测试平台上对探针进行了测试,获得了探针的V-I特性曲线,由此得到了等离子体的电子密度分布和电子温度分布,并与微波干涉仪(MWI)的测量结果进行了对比,结果表明该探针的诊断结果可以反映等离子体参数的变化。

摘要：发散场离子推力器挡板通道结构对放电室性能至关重要,通道尺寸严重影响进入放电室的原初电子能量和速度分布,进而影响放电室性能。根据挡板通道区域等离子体物理过程,建立了与离子推力器工作宏观物理量相关的挡板通道设计模型。利用模型计算了10 cm离子推力器挡板通道几何参数,在计算的理论值附近设计了三种不同特征尺寸的挡板结构,并通过试验开展了特征尺寸的优化。最终优化的挡板通道结构应用于10 cm离子推力器原理样机,该原理样机的性能摸底试验表明其放电室性能满足设计指标要求,从而验证了10 cm离子推力器挡板通道设计模型的合理性。

摘要：作为控制和保护设备，真空开关在电力系统中起着举足轻重的作用，特别是近年来，真空开关由于其自身许多优越性而在许多部门中得到了广泛的应用。随着电力系统的不断发展，对真空开关的综合性能提出了更高的要求，这就迫切要求人们在真空开关研究领域做更多地投入。在真空开关关键技术中，电弧形态和等离子体参数诊断及其调控理论研究是真空开关中的一个瓶颈问题，为了加强对真空电弧特性的研究，