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基于电极阵列优化的类真空静电吸附技术
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《郑州轻工业学院学报(自然科学版)》2015年 第1期30卷 85-89页
作者:过金超 楚东月 崔光照郑州轻工业学院电气信息工程学院河南郑州450002 
提出一种基于电极阵列优化的类真空静电吸附技术:基于库伦作用、J-R效应和静电吸附机理,采用有限元分析方法,构建了三极性电极吸附力输出模型,用于指导电极阵列的优化设计;采用电流变胶技术,设计不同吸槽深度和占空比的多组真空静电吸...
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