摘要：主被动结合混合隔振技术能充分利用主被动隔振的各自优势,是精密隔振的研究热点。磁悬浮隔振技术具有无接触、无摩擦、寿命长、支承参数可控可调等特点,在主动精密隔振领域内得到广泛研究。设计磁悬浮主动隔振器并将其应用到被动精密隔振系统组成复杂双层磁悬浮精密隔振系统,建立了其动力学方程,推导出了相应系统的状态方程,提出了一种基于最小加速度响应的LQR主动隔振控制策略,并采用遗传算法进行优化,得到Q与R矩阵的值,并进行仿真研究。仿真结果表明:在不同的激励下,复杂双层磁悬浮精密隔振系统较被动隔振系统,隔振效果都有显著提高。

摘要：提出了微制造平台的精密隔振系统的设计思路和系统结构 ,通过对具有良好隔振性能的啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的研究 ,利用仿生学原理建立了微制造平台的精密隔振系统的整体结构模型 ,采用主动隔振和被动隔振相结合技术。为了消除线圈发热引起的热变形因素的影响 ,专门设计了超磁致伸缩致动器的恒温冷却系统。针对微制造平台所处激励环境的复杂性和系统内部存在的非线性 ,采用了带有两个修正因子二维模糊振动主动控制系统。最终 ,建立一套可实现微制造的精密隔振系统。