• 全部搜索
  • 期刊论文
  • 图书
  • 学位论文
  • 学位论文
  • 标准
  • 纸本馆藏
  • 外文资源发现
  • 产品样本
  • 电子图书
  • 原文传递

限定检索结果

检索条件"主题词=系统种类"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
视图：
排序：
微机电系统的发展
收藏
分享
引用
《山东理工大学学报（自然科学版）》2003年 第1期17卷 107-110页
作者：刘军营 楮金奎 朱向荣 韩光平山东理工大学机械工程学院山东淄博255049 西安理工大学陕西西安710048 淄博市临淄热力公司山东淄博255400 
始于 2 0世纪 60年代的微机电系统 (MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ,是 2 1世纪的核心技术之一 .介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件。
来源：详细信息评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页<< <1> >>
聚类工具 回到顶部