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新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统设计
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《科技导报》2011年 第28期29卷 20-23页
作者：曹岚 杨波 朱宪亮 张海燕 龚海梅中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室上海200083 中国科学院研究生院北京100039 
依据新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统的技术要求,设计了具有两套抽气系统的全自动化高真空排气台,主真空系统以机械泵和分子泵作为前级泵,溅射离子泵作为主抽泵;辅助真空系统由机械泵和分子泵组成,用于主系统预抽。该真空系统...
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