摘要：对采用等离子增强化学气相淀积法(PECVD)制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行了退火释H2实验,并对三文治结构膜层生长工艺作了改进。红外透射光谱表明:提高退火温度及增加退火时间会造成Si-H键断裂释放H2影响器件结构完整;不断改进设计,最终采用精简有效热敏面积及将退火工艺提前以扩张释H2渠道的方案,获得600℃退火后仍保持完整三文治结构的优化设计流程。

摘要：透红外氟化物玻璃是一类重要的红外光学材料。本文论述了透红外玻璃成份的设计原则,探讨了ZrF_4-BaF_2-LaF_3-AlF_3-LiF系统的玻璃熔制工艺,制备了透红外性能较好的玻璃,并对此系统的玻璃形成范围,以及LiF和AlF_3对玻璃形成能力的影响进行了研究。

摘要：热压多晶硫化锌属于功能性陶瓷材料 ,对长波红外有良好的透过率。尤其在 8～ 11 5 μm波段的红外透过性能 ,在先进的军用红外焦平面阵列探测领域需求迫切 ,因而对硫化锌粉料有特殊的要求。介绍了硫化锌粉料的合成工艺、技术参数。

摘要：热压多晶氟化镁是一种良好的红外光学材料,尤其在1～7μm的红外波段上透过率达90%以上,在国内外广泛用于红外目标探测器。介绍了氟化镁粉料的合成工艺、技术参数、物象分析及应用效果。