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线性可控电热式MEMS微镜设计与仿真分析
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《计算机与数字工程》2025年 第1期53卷 71-76页
作者:张博伦 李庆党 祝方舟青岛科技大学机电工程学院青岛266100 青岛科技大学中德科技学院青岛266100 
论文对MEMS微镜领域电热式偏转结构的基础上,提出了一种全新的悬臂梁式MEMS微镜结构设计,并且对该结构的电热选材进行了对比,在同等电压下,不同加热材料会出现不同的结构形变,同时对MEMS微镜悬臂梁结构进行了尺寸仿真优化,最终该MEMS微...
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