摘要：变形镜作为自适应光学系统中的波前矫正器,现已被广泛运用到天文学、视网膜成像、光束整形等领域中。相较于传统的变形镜技术,MEMS变形镜以其在制备工艺、器件体积及功耗、产品成本等方面具有明显优势而广受关注。文中对现有MEMS变形镜所采用的驱动方式进行系统阐述并对它们各自的优缺点进行对比分析。在此基础上,提出了一种全新的基于氮化铝(AlN)压电薄膜的分立式MEMS变形镜设计。相较于静电驱动变形镜,其具有线性控制的优势。同传统基于PZT、PMN材料的压电变形镜相比,该变形镜表现出与CMOS工艺相兼容,制备工艺简单且环保的特点,因而具有潜在的应用优势。

摘要：设计了一种集磁悬浮技术和线性驱动技术为一体的微电子设备用进给机构。此机构采用直线同步电机,对悬浮的平台进给机构提供驱动力,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向。文中对磁悬浮平台进给机构产生的悬浮力和直线电机产生的推力进行了分析计算。此进给机构具有响应速度快、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要。

摘要：近日，西门子宣布推出用于铁路道岔转换系统维护的移动检测系统。新的检测系统基于西门子用于机械和电气检查的线性驱动而设计，体积比液压检测系统小很多。由于采用模块化设计，该系统几乎可用于任何类型的道岔转换系统电机。

摘要：MIKRON HSM 600ULP精密高速铣削加工中心——实现精密5轴联动加工MIKRON HSM 600U LP很好地满足了超高速铣削所有方面的需求。线性驱动的设计，用于超精加工和超高表面质量加工。人造大理石床身，使其机床具备了高刚性、外形小和封闭0形的显著优点，可以有效地吸收高加速度时产生的冲击力，

摘要：MIKRON HSM 600U LP可以很好地满足超高速铣削所有方面的需求。线性驱动的设计，用于超精加工和超高表面质量加工。人造大理石床身，使其机床具备了高刚性、外形小和封闭0形的显著优点，可以有效地吸收高加速度时产生的冲击力，

摘要：MIKRON HSM 600U LP很好地满足了超高速铣削方面的所有需求。线性驱动的设计，用于超精加工和超高表面质量加工。人造大理石床身使机床具备了高刚性、外形小和封闭。形的显著优点，可以有效地吸收高加速度时产生的冲击力，以确保高的加工精度。