摘要：基于甲烷的红外吸收光谱,通过光谱拆分法实现了一种双通带滤波器的设计。通过调节离子源束流,改善了ZnS膜层的折射率,消除了背景噪声。通过引入可控薄层,降低了非周期窄带通膜系的制备难度。经实验测试与分析,所研制的双通带滤波器在3.31μm和7.67μm的透射率分别为89.25%、81.97%,达到了提高探测系统灵敏度的目的。

摘要：随着5G时代的到来,结构光3D成像技术对不可见光接收模组窄带滤光片的要求不断提高。基于法布里-珀罗全介质型干涉仪膜系设计理论,选择Si-H和SiO2分别作为高、低折射率材料,采用光谱拆分法,使用电感耦合磁控溅射技术和直流磁控溅射技术交替成膜,以提高膜层的聚集密度,降低膜层的粗糙度;并通过辅助阳极降低成膜温度对通带光谱的影响。最终制备的滤光片以945 nm为中心波长,对926~952 nm光的平均透过率达到98.5%,0°~38°通带偏移量为13 nm。