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MEMS系统级设计与基于多端口组件网络的建模方法
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《微纳电子技术》2003年 第7期40卷 40-40页
作者：马炳和 霍鹏飞 苑伟政西北工学大学微/纳米系统实验室西安710072 
MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要。针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求 ,提出了基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法———采用多端口组件表示MEMS的功能结构部件 ...
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