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检索条件"主题词=膜厚控制误差"
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膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析
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《光学精密工程》2003年 第2期11卷 136-138页
作者：王占山同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092 
针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射...
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