摘要：基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光谱曲线,对于已镀层,利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数,据此修正目标透射率曲线,并补偿吸收的影响,重新设计膜层数及预镀层厚度,获得新的评价函数,如此对评价函数进行逐层修正。实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-2以下,精度完全可以满足实际要求。

摘要：通过对宽光谱膜厚监控原理分析,设计出一套便携的嵌入式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440,采用Linux操作系统,使用跨平台Qt2开发可实时监控界面。系统通过USB光纤光谱仪采集光谱数据,S3C2440微控制器对采集的光谱数据通过宽光谱扫描、评价函数、单波长极值等多种方法进行综合处理,最终达到监控镀膜过程中的光学膜厚的目的。系统测试表明,该系统测量精度高、测量速度快且便于携带。

摘要：在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制。

摘要：在嵌入式Linux基础上,从图形用户界面的设计、数据处理模块的设计以及两部分联合工作等方面介绍了实时光学膜厚监控系统的设计和实现。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪。

摘要：利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道带通滤光片进行研制,从膜系设计理论出发,采用了Smith法结合膜系设计软件设计了以周期膜系和非周期膜系相结合的双通道带通滤光膜系,利用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法进行制备并通过数学建模分析,减小了实验误差对光谱的影响.在1 200nm和1 450nm波段得到平均透射率大于97%,1 000~1 130nm和1 570~2 000nm波段平均透射率小于1%的滤光膜,通过系统测试,满足使用要求.

摘要：针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod灵敏度算法分析膜层的相对灵敏度,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,寻求膜系的最佳控制方法。所镀膜层在垂直入射的条件下,905 nm波长的透过率达86%以上,半峰值宽度为23 nm,并且通过提高膜厚控制精度解决了中心波长漂移、膜层吸收等问题。该膜层能够承受激光光源的照射,抵御恶劣的使用环境。

摘要：本文介绍了一种高性能的实时宽光谱膜厚控制仪的设计与制作 ,详细介绍了该系统的工作方式及设计思想。实验表明该系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜光谱特性检测 。

摘要：离子束溅射(IBS)系统具有稳定的沉积速率和良好的工艺重复性,然而在沉积初期其速率仍会发生变化。为研究其变化规律,采用离子束溅射技术,以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料,制备了中红外波段高反膜,用傅里叶变换红外光谱仪测试了膜层的反射率光谱曲线,采用扫描电镜测试了膜层的断面形貌,结果显示膜层厚度随着层数的增加而减小。通过光谱反演的方法,建立沉积速率随时间呈指数变化的模型,通过优化设计,使理论曲线与实测结果的吻合程度大大提高,均方根误差由10%下降至1.5%。研究结果为时间监控方式下的膜厚修正提供了参考依据。