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检索条件"主题词=自卷曲"
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金刚石薄膜三维卷曲微结构的制备及其光学微腔研究
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《功能材料与器件学报》2022年 第4期28卷 395-400页
作者：武楷博 田子傲 梅永丰复旦大学材料科学系上海200433 复旦大学智慧纳米机器人与纳米系统国际研究院上海200438 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海2000503 复旦大学光电研究院上海200438 复旦大学义乌研究院浙江322000 
特征长度位于纳米至微米级尺度的三维(3D)微结构具有丰富而独特的性质与功能,成为了下一代微纳器件的重要组成部分。本文实现了通过应力工程将具有百纳米级厚度的纳米晶金刚石纳米薄膜卷曲构筑成微管、微环、微锯齿条带以及微弹簧等复...
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