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硅酸镓镧高温色散COM参数数据库建立: 收藏
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引用; 《压电与声光》2021年第4期43卷 470-473,478页; 作者：潘虹芝程一民齐梦珂赵彦军曹亮牟笑静重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044; 为了声表面波(SAW)器件设计的便捷和准确,该文利用耦合模(COM)模型在FEMSDA软件基础上添加了Mo、Pt、Ir 3种金属电极的材料参数,同时将硅酸镓镧(LGS)的材料参数随温度变化的关系式一起加入软件,以(0°,138.6°,26.7°)LGS...; 为了声表面波(SAW)器件设计的便捷和准确,该文利用耦合模(COM)模型在FEMSDA软件基础上添加了Mo、Pt、Ir 3种金属电极的材料参数,同时将硅酸镓镧(LGS)的材料参数随温度变化的关系式一起加入软件,以(0°,138.6°,26.7°)LGS压电基片为目标,建立了在700 K下不同金属、相对膜厚及占空比条件下的COM色散参数数据库。; 来源：详细信息评论

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