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基于键合技术的新型集成光学干涉仪
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《微纳电子技术》2003年 第7期40卷 397-399页
作者：李以贵 惠春 宓晓宇 羽根一博上海交通大学微纳米技术研究院上海200030 日本东北大学机械电子系日本9808579 
提出了一种基于超薄薄膜光电二极管 (PD)构成的新型集成光学干涉仪构造方案 ,基于键合技术 ,论证了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成光学干涉仪的可能性。着重描述了集成光学干涉仪构造关键部件———超薄薄膜光电二极管的设计、...
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