摘要：阐述针对微电子专业学生对薄膜课程理论和实践的学习要求,定制集电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射三种镀膜方法于一体的镀膜设备。通过创新的教学实践,使学生获得真空设备、薄膜设备的安装、调试、故障分析与排除的基本技能,掌握薄膜制备的工艺设计及真空镀膜设备的使用。

摘要：为满足卫星通信某滤波器小型化需求,基于薄膜工艺设计了一款陶瓷基板的C频段交指滤波器。该滤波器由5阶平行耦合的谐振单元构成,输入输出形式采用抽头结构,相比于平行耦合输入输出更有利于实现滤波器的小型化。为了满足高抑制度的指标,该滤波器采用交叉耦合与并联1/4波长开路线的方式引入传输零点,有效地提高了滤波器的带外抑制度。同时采用了阻抗补偿的方式对滤波器驻波进行调节。测试结果显示,滤波器中心频率为3.7 GHz,相对带宽为27%,通带插损为-1 dB,在2.7 GHz与4.8 GHz处阻带抑制>30 dB,在2.5 GHz与5 GHz处阻带抑制>40 dB。滤波器尺寸为9.25 mm×6.72 mm。

摘要：2006年2月9日，FSI国际有限公司宣布：其PlatNiStrip^TM镍-铂去除工艺已经通过几家全球最大的芯片制造商验证，并且被他们应用在65nm技术器件的生产中。自2005年3月发布以来，FSI的Plat NiStrip工艺专门设计来为芯片制造商提供先进的自对准多晶硅化物结构，该项工艺已经引起了业界广泛的关注。

摘要：FSI国际有限公司日前宣布：其PlatNiStrip镍-铂去除工艺已经通过几家全球最大的芯片制造商验证，并且应用在65nm技术器件的生产中。自2005年3月发布以来，FSI的PlatNiStrip工艺专门设计来为芯片制造商提供先进的自对准多晶硅化物结构，该项工艺已经引起了业界广泛的关注。

摘要：在车载主动式红外夜视系统中,为满足光学系统对滤光膜的要求,提出一种800~1000nm带通滤光膜,以实现夜间大视觉范围、降低背景中杂散光干扰以及提高成像质量的要求。针对车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜的参数要求,以薄膜材料应用技术为基础,优化、设计带通滤光膜系结构。采用OTFC-1300镀膜机制备薄膜,建立评价函数,通过牛顿迭代法优化薄膜结构,调节敏感膜层厚度,优化工艺,解决了实际镀制的薄膜通带中心区域透过率低,以及光谱曲线边缘起伏震荡大的问题,最终制作了光学性能好的滤光膜。测试表明:在800~1000nm波段平均透过率大于99%,在380~780nm波段平均透过率小于3%,在1064~1270nm波段平均透过率小于2%,该滤光膜可以满足车载主动式红外夜视系统环境使用要求。

摘要：沉积速率是电子束蒸发制备光学薄膜的重要工艺参数之一,影响着成膜的微观结构和化学成分,从而对薄膜的光学性质和机械性质都产生很大的影响。SiO2材料是制备光学薄膜的主要低折射率材料之一,由于其导热性很弱,并且以升华的方式进行蒸发,因此在蒸发过程中表面会出现凹坑,影响其蒸发特性,不利于沉积速率的稳定。考虑到SiO2材料的蒸发特性,进行了电子束自动蒸发SiO2材料沉积速率控制实验,利用设计的扫描控制仪,采用设计的路径进行焦斑自动扫描,在扫描过程中采用比例-积分-微分(PID)闭环反馈法对沉积速率进行控制,实验结果表明,通过控制可以得到良好的材料表面特性和较稳定的沉积速率。

摘要：介绍了红外杜瓦组件的总体封装形式并回顾了国内外的发展情况,对7通道长波光导线列器件在杜瓦瓶中的基板封装形式进行了研究,提出了三种基于厚膜工艺和薄膜工艺的陶瓷基板封装形式.其中,第一种"直接引线式封装"体积过大,第二种"陶瓷针型栅格阵列封装"形式缺少合适接插件,而第三种"分时分组封装"形式使用了薄膜和厚膜基板相键合分时读出的方式,不仅很好地解决了布线问题,而且能方便地使用柔性电缆将信号引出,系统性能要求得到满足.

摘要：Lange耦合器在雷达设备中应用广泛,雷达技术的飞速发展对Lange耦合器的体积质量提出了非常苛刻的要求。通过Ansoft Designer仿真发现在设计中使用高介电常数的介质,使耦合器的中心频率适当偏离实际工作频率,改变耦合段结构,都可以既不影响耦合器性能又明显地减小Lange耦合器的尺寸。实际制作了两种S波段的薄膜工艺小型Lange耦合器,尺寸分别为2.25mm×11.9mm2、.25mm×8.9mm,其中尺寸较小的耦合器中心频率与实际工作频率相比较高。两种耦合器的实测结果表明,所设计的耦合器一方面在尺寸上达到了小型化的目的,另一方面性能完全满足实际工程应用的需要。

摘要：介绍一种100W薄膜功率负载的设计与制作技术，设计指标为输入阻抗50Ω、频率0-6GHz、驻波≤1．3、最高表面温升≤75℃。该器件采用薄膜工艺生产。测试结果表明，它的最大功率可达250W，频率达到40GHz，并能在最高达250℃下可靠工作。功率负载已经被广泛应用于雷达，卫星通讯，电子对抗等军用领域和移动电话和商用基站等民用领域。

摘要：根据近年来实际应用中对减反膜的新的需求和指标要求,利用光学薄膜设计软件进行模拟和理论分析,采用常规的薄膜工艺和设备进行大量实验,设计并制备出三种新型的减反膜:含金属膜的减反膜(包括窄带金属减反膜,宽带金属减反膜,减反防静电抗电磁辐射膜),超低反射率减反膜和大角度减反膜,满足了实际器件的应用要求。