摘要：我们不断向先进的CMOS的微缩和新存储技术的转型,导致半导体器件结构的日益复杂化。例如,在3D NAND内存中,容量的扩展通过垂直堆栈层数的增加来实现,在保持平面缩放比例恒定的情况下,这带来了更高深宽比图形刻蚀工艺上的挑战,同时将更多的阶梯连接出来也更加困难。人们通过独特的整合和图案设计方案来解决工艺微缩带来的挑战,但又引入了设计规则方面的难题。二维(2D)设计规则检查(DRC)已不足以用来规范设计以达成特定性能和良率目标的要求。同时完全依赖实验设计(DOE)来进行工艺表征和优化也变得难以操作。以往工程师通过运用DOE实验来节省工艺研发的成本和时间,而现在他们需要进行数以百计的DOE才能达到目的,这反而需要大量的时间和物料,包括晶圆。

摘要：微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度.最后,对所设计的结构进行了工艺仿真,通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较,论证了结构的基本可行性.

摘要：虚拟制造技术是一种软件技术，它能在计算机上实现模具从设计到制造到检验的全过程，根据虚拟模型的仿真过程，可以在计算机上根据“实际”的加工情况来修改模具的设计，避免了在模具制造过程中可能出现的问题，从而达到缩短模具的开发周期、降低开发成本、提高生产效率的目的，因而是汽车模具开发最有潜力最实用最有效的技术之一。本文针对虚拟制造在汽车模具制造的应用进行简要的探讨。

摘要：针对MEMS设计系统中机械性能仿真不足、设计与加工脱节、缺少工艺验证等问题,借鉴了IC设计可重用思想,引入了具有知识产权的功能模块——IP的概念,提出了基于IP库的MEMS设计方法。该方法是Top-Down和Bottom-Up设计相结合的方法,其核心是MEMSIP库,关键技术包括IP库、虚拟工艺、虚拟运行等,分别对应IP管理、工艺级仿真系统以及器件行为级仿真系统。最后以电容式微加速度计设计为例,对双梁、四梁、疏齿等6种不同的结构分别进行了设计仿真、流水加工、封装和测试的过程,完成了器件从设计到成品的整个流程,验证了本文提出的设计方法和设计系统的有效性和正确性。

摘要：以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。

摘要：本文提出了基于虚拟现实技术的 MEMS虚拟设计系统 ,给出了 MEMS计算机辅助设计系统的解决方案 .通过这套 MEMS虚拟设计系统 ,设计人员可以观察并评测其设计的外观和功能 ,使得在实际MEMS器件制作工艺之前 ,就能获得大量的器件运行数据和修正信息 ,提高 MEMS器件设计制作的效率 ,缩短开发周期 .

摘要：2004年8月30日，由南开大学承担的“863”项量——“基于部件库的MEMS设计环境原形系统研究与实现”通过了天津市科委鉴定。鉴定专家现场考察了系统演示，认为该成果达到国际先进水平。