摘要：针对传统双面抛光机存在的抛光过程中的加载均匀性问题,对抛光机传动机构进行优化改进设计,并在此抛光机上对硅晶片进行抛光加工试验,通过试验研究了不同加工参数对硅晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。试验研究结果表明:传动机构优化设计提高了行星式研磨抛光机床的精度和系统性能;在相同的加工速度下,改造前后抛光机的加工效率接近,改造后对工件加工的表面粗糙度约为改造前的1/3。该设备的改造设计对提高抛光机的加工精度有重要意义。

摘要：本课题对原有LZM-6B型行星式单臂研磨抛光机进行了某些方面的改造:采用封闭式龙门箱形的主体式结构以提高机床的刚度及稳定性;改善机床工作环境采用球头轴承浮动连接,保证加载均匀。通过改造后抛光机性能实验可以得到,在各种研磨工艺参数相同的情况下,抛光机在改造前后的去除率差别不大,但改造后抛光机对工件加工的表面粗糙度明显优于改造前的。研究结果表明该设备的改造设计,可以较低的成本加工出高精密度的产品,极大地满足了生产与科研的需要。

摘要：本文针对一种行星式研磨抛光机的通用夹具进行技术改造。采用了行星式可更换内部复合夹具以节省夹具制作时间和夹具的灵活性,采用不同的材料来加工同一个夹具不同的部位来满足工作需求又降低成本。通过对改造后夹具的强度性能研究可得到:在各种待加工工件变换频繁相同情况下下,夹具在改造前后的功能性差别不大,但改造后的夹具对不同工件变更周期与成本明显优于改造前的,极大地满足了生产与科研的需要。

摘要：为满足生产和科研的需要,达到以低成本加工出高精度产品的要求,我们在某些方面对LZM-6B型行星式单臂研磨抛光机进行了改造。结果表明,在各种研磨工艺参数相同时,对于工件加工表面的粗糙度,改造后的抛光机要优于改造前,但改造前后的去除率差别不大。