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超薄锗片粘蜡工艺研究
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《电子工艺技术》2018年 第5期39卷 297-300页
作者：王云彪 陈雅楠 田原 耿莉中国电子科技集团公司第四十六研究所天津300220 
超薄锗片是制作多结空间太阳能电池的主要衬底材料,随着空间卫星技术的不断发展,对高质量超薄锗抛光片的需求量正在逐年增加。粘蜡抛光是获得高平整度抛光片的主要手段,也是未来超薄大尺寸锗单晶片加工的必然选择。从涂蜡参数、烘烤条...
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