摘要：本文研究了基于激光干涉的光学结构表面形貌检测方法。通过激光干涉技术,可以实现对光学结构表面形貌的高精度、非接触式测量。针对不同的应用场景和要求,本文提出了一系列具体策略,通过对比分析这些策略的原理、优缺点以及适用范围,可以为光学结构表面形貌的检测提供参考和指导。本文的研究成果对于光学结构的设计、制备和应用具有重要的理论意义和实际应用价值。

摘要：针对彩色共焦距测量系统中测量范围和分辨率的调制问题,采用色散和聚焦功能分离的思路设计了一款色散物镜,其色散功能由纯球面折射透镜组成的色散管镜来实现,聚焦功能则采用商业物镜实现。使用ZEMAX软件对色散管镜的结构、材料及像差进行了设计及优化,仿真结果显示所设计的色散管镜在可见光范围内能获得优于230mm的轴向线性色散,实际加工的成品管镜的轴向线性色散范围可达160mm。实验测量了色散管镜及它结合不同聚焦物镜后的色散特性。实验结果表明,色散管镜结合不同聚焦能力的物镜能够具有高线性度的轴向色散区域;结合4倍和10倍放大倍率的商用物镜,分别获得了1 300μm和225μm的测量范围,其轴向分辨率分别为2μm和0.4μm,实现了测量范围和分辨率的调制。