摘要：为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题,提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法.该方法将驱动电压调制到高频,有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离,同时不改变驱动静电力的相位与频率.采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为0.01%,片上集成跨阻放大器可实现1 aF/sqrt(Hz)电容变化测量.闭环驱动电路采用18 V高压N阱CMOS工艺设计,芯片面积18.9 mm2.在±9 V电源条件下,角速率传感器输出刻度因子10 mV.((°).s-1)-1,线性度0.3%,偏置稳定性190((°)/h).测试结果表明,该方法在机械表头常压封装下(品质因子为80),无需后续电路相位调整,即能有效的实现传感器的闭环自激驱动.

摘要：声表面波(SAW)器件具有无源、无线、微型、抗冲击力强,灵敏度高等优点。用它制作角速率传感器——SAW陀螺已成为研究热点。概述了SAW陀螺的应用及发展;着重分析了SAW陀螺两种结构模式的工作原理;指出SAW陀螺设计的关键是如何得到合适的参考振动速度,而使其省掉悬浮振动机构成为简单的单平面结构;提出了亟待研究解决的几个问题。

摘要：多晶硅表面微机械技术是微机电系统 (MicroeletromechanicalSystems,MEMS)中重要的加工技术。本文采用这种加工技术 ,提出了一种基于Sagnac效应的新型微机械光学角速率传感器 (OpticalRotationSensor ,ORS)。由于采用MEMS的最新技术 ,它将是一种低成本、微型化的ORS .文中给出了ORS中环形谐振腔的设计和基本理论分析 ,并提出了电路和控制系统的设计。同时完成了ORS关键光学器件———可移动微反射镜的设计和研制工作。

摘要：设计制作了一种旋转载体用角速率传感器,该传感器利用旋转载体自身的旋转作为驱动从而敏感旋转载体横滚或俯仰角速率。建立传感器的动力学方程并求得解析解,得到输出电压和传感器敏感质量摆角的关系。实验表明,利用该传感器可以敏感旋转载体的横滚或俯仰角速率。

摘要：提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案 ,还针对隧穿检测和电容检测进行了比较。

摘要：来自芬兰VTI的消息，该公司2010年秋季推出的、专为用户界面及游戏应用产品而设计的全球体积最小、功耗最低的三轴数字角速率传感器CMR3000，在获得市场积极反馈之后，现已开始批量生产。

摘要：本文介绍了一种MEMS角速率传感器的设计、制作和测试.该传感器采用硅梁作为支撑和震动的结构.电磁力在驱动模式中被用来激励质量块做往复运动.驱动模式的频率被设计为5 955.38 Hz.针对另外两个轴向的角速率检测,设计检测模式的频率分别为6 151.01 Hz和6 591 Hz.质量块在驱动模式下的最大位移被设计为20μm.在器件的制作过程中使用了湿法刻蚀、电子束蒸发、阳极键合、等离子体增强化学气相沉淀(PECVD)、lift-off、感应耦合等离子体活性离子蚀刻(ICP-RIE)等MEMS工艺.质量块的尺寸是1 440μm×1 400μm×33.6μm,硅梁的设计尺寸分别为10μm×562.5μm×33.6μm,10μm×532.5μm×33.6μm,芯片的外形尺寸是3 127μm×3 069μm.为了进行器件测试,搭建了真空测试平台.测试结果表明,驱动模式下器件的谐响应频率为9 609 Hz,使用磁电检测的模式其谐响应频率为9 605 Hz.器件中电容检测需要特殊的电路,该电路目前正在搭建中.分析发现实测结果与模拟仿真结果的差异在于加工过程中产生的误差.

摘要：北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m^(2),是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。

摘要：本文为了提高传感器系统的容错能力,避免增加硬件余度引入的额外成本、重量与维护负担,设计了角速度传感器的信号重构与故障检测方法。信号重构采用非线性跟踪微分器(TD)结合递归线性平滑牛顿(RLSN)预测器实现。解析信号辅助故障检测的设计则提出了改进的滑动数据窗法,通过OC函数定量分析了双检测阈值的设置,并应用模糊逻辑和加权指数平滑,实现检测时间的自适应调整。通过不同飞行状态下的仿真以及与典型方法的对比,仿真结果表明所提出方法在解析信号估计精度以及故障检测性能上具有优势。

摘要：本文从影响敏感器件性能的主要弱点着手，采取扩大和加深振梁节点孔径的设计方案。实验结果表明采用此方案研制的敏感器件，其读出、阻尼面的增益和Ｑ值有明显提高。