摘要：介绍用于０．８～１μｍ分步重复投影光刻机的六自由度硅片定位系统。讨论了气足、承片台系统及ＳＴＡＭＰ的设计和计算方法，并给出了设计数据与计算结果。本系统在Ｘ、Ｙ１、Ｙ２三个方向达到了±０．１μｍ（３σ）的重复定位精度、±５０ｎｍ的调焦分辨力和５μｍ／全片的调平精度。

摘要：桩基础设计在我国的基础设计中应用广泛,具有诸多优良特性。本文从桩基础及相关概念入手,介绍桩基础的分类及特点,就桩基础设计中存在的一些值得注意的问题进行分析和探讨,希望能为桩基础的研究与实践提供一定的参考作用。

摘要：日常工作中往往重视强度轻视刚度。文章通过简单的概念分析结合对软件计算结果的阅读理解力图使大家在设计过程中运用刚度(变形)武器,理解结构,主动调平结构。

摘要：根据南宁市江北大道铁路立交桥顶进施工扎头偏差达91cm的情况,提出了框架纠偏方案。因框架扎头使结构底板受力不在同一平面上,首先要对框架进行扎头纠偏调平;为使框架恢复到设计位置,需采用千斤顶对框架整体顶升;框架地基受力软硬不均,要采用浆砌片石回填并压注水泥浆的方法密实基础。在维持通车的情况下,短期内使框架安全复位,各项指标达到设计使用要求,避免了重大的经济损失。

摘要：本文介绍了一种液体摆电容倾角传感器的检测电路及动态水平平台控制装置的设计。通过差动脉宽调制电路、放大迁移电路以及滤波电路,将倾角传感器的倾角转换为直流电压信号送入单片机。在-5°^+5°测量范围内,可实现分辨率为0.1°。采用该传感器设计了一种动态水平平台控制系统即单片机能通过分析传感器输出的信号,将平台倾斜角度在液晶显示器上显示,同时驱动直流电机调平平台,使平台随时保持水平状态。

摘要：讨论了平台回路的组成及其工作原理,采用构造理想闭环传递函数的方法对闭环光纤陀螺平台调平回路的校正网络进行了设计;由于闭环光纤陀螺无传统陀螺仪的力矩器,且所用的闭环光纤陀螺以脉冲调宽方式作为输出,因此,回路采用闭环光纤陀螺自带的DSP处理器经过编程和A/D信号转换实现,较详细分析了调平回路主要各环节,并建立了相应的传递函数;通过对设计性能指标要求的分析,反推出所要设计的校正网络,且通过仿真实验证明该方法设计的回路能够满足系统动态特性的要求}最后,通过精度的影响因素分析,提出了提高调平精度的措施。

摘要：承片台机构是声学扫描检测设备中重要部件,为了解决常用承片台生锈、调平难度大、加工性差的问题,设计了一种分体式承片台机构,选择PMMA材料加工其易生锈部分,经长期考核该机构未发现生锈现象,而且装配及调平过程简单方便,易于操作,取得了非常好的使用效果。该机构能够广泛应用于类似具有承载功能的设备中,为以后设计起到借鉴作用。

摘要：转播车是一种具有机动灵活、活动范围大等特点的车载小型"电视台",是一种改进的专用作业车。当转播车工作时,需整车平稳触地,同时具备将工作厢仓展开扩大的功能。该文针对转播车的功能要求,完成车辆调平及厢仓扩展液压控制系统设计,试验证明该系统简单可靠,达到各种设计要求。

摘要：为了满足天幕靶在不同地理环境下调平定位快速、准确的需求,运用电控转台技术设计了一种可以自动调平定位的天幕靶用二维转台。详细阐述了天幕专用转台的功能需求,技术难点与关键技术,应用单片机技术实现了控制系统的设计。针对转台高静态精度需求的特点,在MATLAB环境下,运用位置误差信号设计了系统PID控制算法,数值仿真与实验数据证明,系统两轴的控制超调量为30%,调整稳定时间约3秒。

摘要：为提高机组田间作业行驶的直线性,利用激光方向性好、发散角小、分辨率好、不受电磁干扰、无累积误差等特点,设计了一种激光导引机组作业系统,该系统主要由激光发射装置、调平装置、激光接收装置等部分组成。系统工作时,由激光发射器发出的红光激光,被安装在拖拉机上的激光接收装置接收,通过解调转换为电信号,由LED灯指示出机组的方向偏移,从而辅助驾驶员调整拖拉机方向,进行直线行驶。详细阐述了系统的结构和原理,以及关键部分的设计。初步试验表明,200 m范围内,激光导引系统导向精度,受外界光照影响小,机组偏移距离在3.18 cm左右,相比划行器,提高了作业精度。