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检索条件"主题词=谐性磁场"
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基于ANSYS的二维谐性磁场分析
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《应用光学》2005年 第6期26卷 35-37页
作者:李龙奎 苏俊宏 徐均琪 王笑丹西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室陕西西安710032 吉林大学生物与农业工程学院吉林长春130022 
非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响。介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法。根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的AN SY S软件对...
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