摘要：随着椭偏测量技术的发展,对椭偏测量速度、测量范围有了更高的要求。针对传统的双旋转补偿器测量方法受限于机械限制,调制频率低的问题。采用弹光调制技术,利用调制器的快轴旋转取代传统的旋转补偿器,设计了一种基于LC谐振放大的双驱动电路,利用现场可编程门阵列(FPGA)实现对弹光调制器(PEM)的高速驱动控制。根据弹光调制驱动控制要求对电路设计思路和方法进行了详细分析。通过仿真和实验结果表明,所设计的电路系统输出频率能稳定控制在60 kHz,幅值能达到430 VPP以上,满足PEM快轴高速稳定驱动的需求。

摘要：针对LLC变换器的控制管,采用谐振驱动电路(RGD);针对同步整流管,采用电流连续型的电流源驱动电路(CSD)。详细分析了RGD和CSD电路的工作原理、各部分损耗及谐振电感最优化设计。对于控制管,最优化设计为实现驱动损耗和关断损耗之间的平衡;对于同步整流管,最优化设计为实现驱动损耗和体二极管损耗之间的平衡。同时,设计制作了1 MHz同步整流半桥LLC原理样机,并给出实验结果。

摘要：针对直径在18—30mm范围内的细小管道难以检测的问题，提出一种微型机器人。该机器人采用谐振原理驱动，简化了传动机构。由微型电机带动偏心轮旋转作为激励源，建立了机器人在管道壁约束下的数学模型，求解机器人柔性足与管壁碰撞产生的角加速度和接触点位置，分析了机器人的运动机理。研制机器人样机，并搭建管道试验环境，进行速度和牵引力测试实验。最小样机尺寸15mm×15mm×22mm，由实验结果得出：样机在8V电压下，速度最高可达到68．29mm／s，功耗约为0．15w，最大爬坡角度30°。

摘要：针对现有压电振子驱动的共振隔膜泵中存在隔膜往复运动位移及位移放大比小的问题,该文设计出一种可应用于共振隔膜泵的大位移压电叠堆执行器,利用压电叠堆作电-机转换器,提高其响应速度,采用矩形弹簧结构,保证系统稳定性,提高系统的一阶固有频率。建立压电叠堆执行器的数学模型,并分析了系统的位移放大比和各阶固有频率,测试了样机的相关性能。实验结果表明,在输入激励信号幅值60 V、频率510 Hz的正弦信号下,该压电叠堆执行器输出位移为154μm,位移放大倍数为18.11倍,研制的压电叠堆执行器具有较高的响应速度及较大的输出位移,可用于提升共振隔膜泵的输出性能。