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MEMS石英振梁高增益谐振电路的设计与分析
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《传感技术学报》2020年 第3期33卷 375-379页
作者:蔡安江 万垚 张栋鹏 杨琦奇 李村西安建筑科技大学机电工程学院西安710055 陕西省纳米材料与技术重点实验室西安710055 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710054 
介绍了一种基于新型高阻抗QVBA的高增益谐振电路设计和谐振电路的分析测试实验。利用阻抗分析仪4294A测得石英振梁的等效参数,对石英振梁的电气特性进行分析,发现高阻抗石英振梁起振比普通晶振需要更高增益。基于双门振荡电路,利用运算...
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