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检索条件"主题词=超纯氩气"
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浅谈超纯氩气工艺流程设计
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《低温与特气》2021年 第5期39卷 26-27,37页
作者：董涛 苏耀华 蔡晋 任少科 姜涛 张宏雷 高天龙中昊光明化工研究设计院有限公司辽宁大连116031 
对超纯氩气的工艺流程设计进行了探讨,包括低温泵、汽化器的选型,纯化器、充装位及真空系统的设计等。
来源：详细信息评论
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