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检索条件"主题词=软刻蚀"

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仿生超疏水表面的制备及润湿性研究: 收藏
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引用; 《功能材料》2007年第11期38卷 1874-1876,1883页; 作者：郑傲然周明杨加宏江苏大学光子科学制造中心江苏镇江212013; 对植物叶表面的超疏水现象研究表明:植物叶表面的微观结构是引起超疏水的根本原因。设计并利用软刻蚀技术制备了一系列不同参数的光栅微结构表面,对水滴在这些非光滑表面上的接触角进行测量,测量结果表明材料表面几何结构直接影响接触...; 对植物叶表面的超疏水现象研究表明:植物叶表面的微观结构是引起超疏水的根本原因。设计并利用软刻蚀技术制备了一系列不同参数的光栅微结构表面,对水滴在这些非光滑表面上的接触角进行测量,测量结果表明材料表面几何结构直接影响接触角的大小,通过设计微结构的几何参数可以获得理想的超疏水材料。; 来源：详细信息评论

硅衍射微透镜阵列的制作技术研究: 收藏
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引用; 《半导体光电》2005年第B3期26卷 106-110,114页; 作者：赖建军赵悦柯才军周宏易新建翁雪涛熊平毕中科技大学光电子工程系湖北武汉430074 重庆光电技术研究所重庆400060; 介绍了二元光学方法制作多台阶衍射微透镜的设计和工艺过程；分析了台阶侧壁倾斜对衍射效率的影响；提出了一种基于软刻蚀技术的复制和集成新工艺。实际制作了8台阶硅衍射微透镜阵列，利用新工艺复制了硅衍射透镜阵列。; 介绍了二元光学方法制作多台阶衍射微透镜的设计和工艺过程；分析了台阶侧壁倾斜对衍射效率的影响；提出了一种基于软刻蚀技术的复制和集成新工艺。实际制作了8台阶硅衍射微透镜阵列，利用新工艺复制了硅衍射透镜阵列。; 来源：详细信息评论

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