摘要：为了实现对倾斜分束片型自准直仪的设计,针对由平板分束器引入的轴上像散提出了校正方法。对其轴上点像散产生的原因进行分析,研究了柱面镜对轴上像散的校正方法。推导了柱面镜校正参数的计算方法,针对复色自准直仪系统的残余色差,提出柱面分束器与柱面镜组合的校正方法,并与平板分束器与双柱面镜组合方法进行对比,分析发现前者可减少元件数量,更适合用于倾斜分束片型复色自准直仪中。设计结果表明,柱面分束器与柱面镜组合型系统的波像差RMS值为λ/26,PV值为λ/5,系统的消像散、消色差效果良好,成像质量得到有效复原。对样机的波前进行检测,RMS值为λ/25,PV值为5λ/26,小于λ/4,系统成像质量良好。

摘要：以磁浸没透镜的电流密度值的大小为优化参量 ,以成像系统的轴上像散为目标函数 ,利用单纯形优化法对用于投射式电子束曝光系统的新型磁浸没透镜进行了优化设计。结果表明 ,目标函数由未经优化前的 35 8.187nm降低到 5 0 .6 93nm。同时单纯形优化法不需要已知目标函数与优化参量之间的解析关系式及求导 。