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欠键合/过键合与功率设置及温度关系的研究
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《半导体技术》2010年 第1期35卷 84-89页
作者：张亚楠 韩雷中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室长沙410083 
在热超声引线键合过程中,低功率设置和低温下容易导致欠键合,高功率设置和高温下则容易出现过键合。通过实验采集了不同超声功率设置、不同温度下大量键合过程中换能杆末端轴向的速度信号、换能杆两端驱动电压和电流信号,并测量其键合强...
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