摘要：研究了门极可关断晶闸管的关断原理,参数设计及制造工艺技术;提供了逆阻型大容量门极可关断晶闸管的设计参数、图形结构及制造工艺过程。并对门极可关断晶闸管的扩散杂质分布、各单元及多个单元并联的特性进行了测试。

摘要：论述了1000A,2500V大功率逆阻型可关断晶闸管(GTO)的基本设计原则,给出了主要工艺特征和元件的开关特性.采用改进的扩散工艺、掺氯氧化(TCE)和高能电子幅照技术,使逆阻型GTO的p基区杂质分布和n基区少子寿命达到了最佳化,从而获得了具有优良开关特性的GTO元件.

摘要：论述了１０００Ａ、２５００Ｖ大功率逆阻型可关断晶闸管（ＧＴＯ）的基本设计原则，给出了主要工艺特征和元件的开关特性。采用改进的扩散工艺、掺氯氧化（ＴＣＥ）、高能电子辐照技术和湿法凹槽门极挖槽技术，使逆阻型ＧＴＯ的参数折衷和少子寿命分布达到了最佳化，从而获得了具有优良开关特性的ＧＴＯ元件。