摘要：目的:解决多元气体混配系统设备稳定性差、成本高和出气流量小的问题。方法:提出基于理想气体方程和道尔顿分压定率的三元气体混配系统,并通过设计的算法不断计算误差以及调整参数,且结构上采用气缸、传感器等的连接。结果:根据相对偏差进行调整混配后,CO_(2)和O_(2)的气体浓度平均相对偏差分别为0.86%和0.75%,气体浓度精度满足<1%的技术要求,可较好地实现三元气体高精度的气体混配。结论:该系统可实现三元气体快速、无极调节,以及高精度连续化混配。

摘要：设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。