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邻近导体布局对电光测量的影响
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《微电子学》2004年 第4期34卷 428-431页
作者:闫欣 张洪波 张大明 侯阿临 刘鸿飞 衣茂斌吉林大学集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区吉林长春130023 
 采用静态有限差分法[1],求解了电光探测时探头内部的电场分布;发现了电光信号随布线的变化,设计了一系列不同布线的电极;采用ITO导电膜进行电光信号幅度校准并减少串扰。理论分析与实验结果符合得很好。最后,分析了ITO导电膜对CMOS反...
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