摘要：微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计。本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐振腔的设计构想,并利用数值模拟的方法对这一构想进行了验证。模拟的结果表明,微波在重入式微波谐振腔内外壁之间的路径传输后,可在金刚石膜沉积台处形成一最强且相对均匀的电场。在相同的输入功率下,其形成的最大电场强度高于圆柱式和椭球式两种谐振腔时的情况。由于重入式的微波谐振腔具有结构简单、频率易于调节的优点,因而这一构想可为设计制造新型的MPCVD金刚石膜沉积设备提供参考依据。

摘要：提出并设计了一种利用微波非热效应来实现灭菌的谐振腔,谐振频率为2.45 GHz。该设计是基于重入式谐振腔理论,微波能量从谐振腔的一端通过N型连接器采用磁耦合的形式馈入,采用三维电磁仿真软件进行仿真优化与分析,并得出电磁场结构分布图,仿真结果表明:当输入功率为200 W时,液体与微波互作用区域的电场强度可达106 V/m以上,根据电穿孔机理,此时细菌的细胞膜将被瞬时击穿,细胞变质从而实现液体的快速灭菌。