摘要：如何简单、快速且低成本制备穿通导线一直是基于玻璃通孔的微机械传感器晶圆级真空封装的技术难点。根据电化学反应理论,设计了一种有掩膜电镀的穿通导线制备方法。采用纳秒激光烧灼得到玻璃通孔,利用掩膜增大电镀时通孔周围的电流密度,实现了任意尺寸玻璃通孔的快速金属填充。实验分析确定300?m厚的玻璃最优通孔直径为100?m,通孔间的电阻均约为0.347?,最大误差为2.59%。通过沿通孔划片得到的扫描电子显微镜下图像可以看出,金属填充致密均匀,形貌良好。

摘要：基于TGV(玻璃通孔)工艺实现圆片级真空封装的导线互联过程中,进行批量化的玻璃通孔金属填充是产品制备的必然选择。调研了玻璃加工的刻蚀技术,确定使用喷砂工艺制备通孔,基于孔径和形貌设计了两种电镀方案均实现了金属对孔的密封,通过比较2次电镀的时间和形貌,最终确定了双面溅射种子层进行电镀的方案,实现了批量化的TGV工艺制备。

摘要：对大型遮阳型材的模具设计及优化、挤压过程控制及优化技术进行了分析和研究,提出了如何提高大型空心型材挤压模具使用寿命及减少软合金异形型材表面变形的建议与方法。

摘要：介绍了异型钢轧制技术的行业现状,针对异型钢温降过快导致产品难以轧制、轧制过程金属填充效果差、截面连续变形不稳定等技术难题,采用理论研究与课题攻关相结合的方式,提出了“2+6”的全新轧制工艺流程,减少了轧制道次,缩短了轧制时间,解决了产品温降过大导致钢种难以轧制的行业难题;开发了系统性孔型设计新技术,改善了热态金属在轧辊孔型中的填充效果,解决了复杂断面的孔型设计难题;研发了轧机微张力控制技术,保证了各架机组间按微小张力进行轧制,解决了复杂断面的连续变形难题。异型钢轧制关键技术研发成功后,已在国内多个用户现场投产应用,实现了异型钢产品的批量生产和高端装备国产化。